能谱探头: 

硅飘移能谱探头，第六代无液氮设计 

分辨率优于 129eV 

分析元素范围：Be4-U92 

峰背比：20000：1 

场效应管 

能谱软件: 

分析导航器 

实时帮助系统 

信息管理系统 

实验报告系统 

元素面分布分析软件 

电子束任意定位和分析软件 

快速成分归类软件 

化学相分析软件 

化合物峰位拟合软件 

电子束飘移校准软件