图像分辨率：高真空二次电子像：优于3nm @30kV，优于10nm @3kV。低真空背散射电子像：优于4.5nm @30kV。

发射源：钨灯丝。加速电压范围：不小于200V～30kV，10V步进连续可调。

探针电流范围：不小于0.5pA～5μA，连续可调。放大倍数：范围5x～1,000,000x；低倍模式下，图形无畸变。

图像控制：分辨率模式、景深模式、分析模式、视场模式。工作距离范围：不小于2～220mm。

样品室结构：圆柱形、厚壁、整体结构样品室，内部尺寸：不小于420mm（直径）×330mm（高）

样品台类型：5轴马达驱动样品台可放置的最大样品尺寸：直径不小于300mm，高度不小于210mm。